Basket

0452395 - ÚPT 2016 RIV CZ cze J - Journal Article
Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Chlumská, Jana - Matějka, Milan - Meluzín, Petr - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav
Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem.
[Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : e-beam writer * Gausssian beam * variable shaped beam
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0253409