0449271 - ÚPT 2016 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Holá, Miroslava - Lazar, Josef - Čížek, Martin - Řeřucha, Šimon - Číp, OndřejSouřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu.
[Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, s. 16-17. ISBN 978-80-87441-16-9.
[LASER 55. Třešť (CZ), 21.10.2015-23.10.2015]
R&D Projects: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TA01010995; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : coherence optics * interferometry * coherent laser
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0250860
