Basket

0439067 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav
SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM.]
Brno: Tescan Brno s.r.o, 2014. 6 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0242373