Basket

  1. 1.
    0424549 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
    [An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
    Internal code: IONEU2013 ; 2013
    Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
    Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613