Basket

  1. 1.
    0424534 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
    [Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
    Internal code: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
    Technical parameters: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
    Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : pohyb substrátu * PC řízený
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230598