0387397 - ÚPT 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čížek, Martin - Číp, Ondřej - Lazar, Josef - Hucl, Václav - Buchta, Zdeněk - Hrabina, Jan - Konečný, P. - Kůr, J.Polohovací systém s velkým dynamickým rozsahem řízený piezoelektrickým motorem.
[Positioning system with high dynamic range driven by a piezoelectric motor.]
Internal code: UPT 2012/06 ; 2012
Technical parameters: Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu: Umožňuje polohování stolku se vzorkem ve dvou osách s vysokým rozlišením a velkým dynamickým rozsahem. Rozsah polohování v obou osách je cca 6 mm s rozlišením 20 nm.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Je připravovaná smlouva s firmou MESING, spol. s r.o. (IČ: 25579835).
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/241
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : AFM * positioning * high dynamic range * piezoelectric motor * incremental sensors
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0216548
