Basket

0370933 - ÚPT 2012 RIV CZ cze J - Journal Article
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Urbánek, Michal
Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením.
[Nanolithography and Magnetic Field Cancellation in the Industrial Area.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 56, 11-12 (2011), s. 312-316. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MPO FR-TI1/576
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : E-beam writer with a shaped beam * magnetic field cancelling system * electron optics column * nanolithography * nanotechnology
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0204605