Basket

0316651 - ÚPT 2009 CZ cze A - Abstract
Hégr, O. - Boušek, J. - Fořt, Tomáš - Sobota, Jaroslav - Varuňková, V. - Bařinka, R. - Poruba, A.
Naprašované vrstvy SiNx:H s leptáním mono-Si povrchu v plazmatickém H2.
[Sputtered coatings of SiNx:H on H2 plasma etched mono-Si substrate.]
Sborník abstraktů - 3. Česká fotovoltaická konference. Brno: Czech RE Agency, 2008. s. 53. ISBN N.
[Česká fotovoltaická konference /3./. 03.11.2008-05.11.2008, Brno]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : magnetron sputtering * passivation layer * SiNx:H * MW-PCD * FTIR
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0166507