Basket

0314356 - ÚPT 2009 RIV CZ cze J - Journal Article
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Lencová, Bohumila - Kokrhel, Svatopluk - Horáček, Miroslav - Radlička, Tomáš - Urbánek, Michal - Daněk, Lukáš
Zápis tvarovaným elektronovým svazkem.
[Writing System with Shaped Electron Beam.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2325
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : e-beam writing system * shaped electron beam * electron optics column * electron scattering * writing speed
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0164886