Basket

0308202 - ÚPT 2008 RIV GB eng J - Journal Article
Mika, Filip - Frank, Luděk
Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM.
[Tvorba dvourozměrných profilů dopantu s níkoenergiovým SEM.]
Journal of Microscopy. Roč. 230, č. 1 (2008), s. 76-83. ISSN 0022-2720. E-ISSN 1365-2818
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : dopant contrast * low energy SEM * semiconductors
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Impact factor: 1.409, year: 2008
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0160756