0083073 - ÚPT 2007 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Jašek, O. - Karásková, M. - Buršíková, V. - Zajíčková, L. - Franta, D. - Frgala, Z. - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Klapetek, P. - Buršík, JiříDepozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX.
[Nanocrystalline diamond films deposition by PECVD in ASTEX type microwave reactor.]
Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II. Brno: MU, 2006, s. 133-138. ISBN 80-210-4195-1.
[Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II. Hustopeče (CZ), 19.10.2006]
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z20410507
Keywords : nanocrystalline diamond * PECVD * microwave discharge
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0146444
