Basket

0050991 - ÚPT 2007 cze K - Conference Paper (Czech conference)
Mika, Filip
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
[Quantitative 2D dopant profiling in semiconductor by the secondary electron emission.]
PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 33-36. ISBN 80-239-7957-4.
[PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : semiconductor structure * doping density * contrast
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140993