0047349 - ÚPT 2006 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Frank, LuděkMetoda měření detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu.
[Method for quantification of the detection efficiency of secondary electron detectors in the scanning electron microscope.]
Internal code: DETEFF ; 2005
Technical parameters: Metoda objektivního hodnocení a postup měření kvantové detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu ve statickém režimu stabilního signálu a procedura vyhodnocení časové odezvy detektoru na signálový skok.
Economic parameters: Metoda umožňuje objektivní srovnání různých konfigurací detektorů a rovněž vyhodnocování efektu konstrukčních změn a inovací.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron detectors * scanning electron microscope * detective quantum efficiency * secondary electrons
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0138282
