0585500 - FZÚ 2024 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Štarman, S. - Kváča, Z. - Lančok, JánUltrazvuková radiační energetická litografie sonopolymerů.
[Ultrasonic radiation energy lithography of sonopolymers.]
Internal code: FW01010279-V2 ; 2022
Technical parameters: Simulace ultrazvukových polí a stanovení jejich parametrů, stanovení parametrů piezokeramiky, výběr litografických technik a roztoků, litografie pomocí 2D stroje pro maskování a následné leptání, kontaktování vývodů pomocí ultrazvuku, měření charakteristik měniče, zapouzdření měničů
Economic parameters: poloprovoz ultrazvukové litografie do 5 milionů Kč
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) FW01010279
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : sonolithography * ultrasonic transducer * sonopolymer
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0353216
