Basket

0580734 - FZÚ 2024 RIV cze P - Patent Document
Vyskočil, J. - Mareš, P. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním.
[A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation.]
2023. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM Plasma spol. s r.o. Date of the patent acceptance: 29.03.2023. Patent Number: 309606. Territorial Protection: národní patent v členském státě EU .
R&D Projects: GA MPO FV30177
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : planar magnetron * arc evaporation * pulsed discharge
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0349492