0550696 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, TomášKorektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Len Corrector.]
Internal code: APL-2021-14 ; 2021
Technical parameters: Korektor je zamýšlen jako součást skenovacího elektronového mikroskopu, která bude korigovat jeho sférickou vadu. Je to elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií (řádově 1 - 3 atomové vrstvy grafénu), která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole a zároveň minimálně ovlivňuje elektrony při jejich průchodu folií. Systém je vybaven mechanismem vypékání grafénové folie.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of spherical aberration * resolution * graphene foil
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326000
