0500350 - FZÚ 2019 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Bulíř, Jiří - Novotný, Michal - Fitl, P. - Vrňata, M. - Bodnár, M. - Lančok, JánDepoziční aparatura pro depozici vrstev pomocí plazmové polymerizace RF výbojem.
[Deposition system for preparation of thin films by RF discharge plasma polymerization.]
Internal code: Depoziční aparatura pro depozici vrstev pomocí plazmové polymerizace RF výbojem ; 2018
Technical parameters: Mezní tlak 10E-3 Pa, pracovní tlak 5 Pa, RF výkon 20 W, RF frekvence 13,56 MHz
Economic parameters: Vytvoření nové technologie výroby, zvýšení adaptability produktů, zlepšení postavení firmy na trhu.
R&D Projects: GA MPO FV20350; GA MŠMT(CZ) LO1409
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : chemical gas sensor * plasma polymerization * magnetron sputtering
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0292441