Basket

0481768 - ÚPT 2018 RIV CZ cze J - Journal Article
Maňka, Tadeáš - Šerý, Mojmír - Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Krátký, Stanislav - Zemánek, Pavel
Laserový systém pro odměřování reliéfu MIEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání.
[Laser system for determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 62, č. 10 (2017), s. 270-272. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : laser interferometry * reactive ion etching * micro electro-mechanical system
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0277304