0423138 - ÚPT 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Fořt, Tomáš - Dupák, Libor - Sobota, Jaroslav - Neděla, Vilém - Kapounek, Petr - Dupák, Jan - Krejčí, J.Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev.
[New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers.]
Internal code: APL-2013-13 ; 2013
Technical parameters: Aparatura s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.
Economic parameters: Nová naprašovačka vyvinutá v rámci řešení grantu, která umožňuje nanášení DLC vrstev. Senzory opatřené těmito vrstvami by měly zvýšit obrat firmy o 10 000 EUR-ročně. Výsledek využije příjemce projektu. Kontakt: Ing. Vilém Neděla, PhD., vilem@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/118
Keywords : electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0229220
