Basket

0321380 - FZÚ 2009 RIV CH eng J - Journal Article
Kulykovskyy, Valeriy - Vorlíček, Vladimír - Boháč, Petr - Stranyánek, Martin - Čtvrtlík, Radim - Kurdyumov, A.
Mechanical properties of amorphous and microcrystalline silicon films.
[Mechanické vlastnosti amorfních a mikrokrystalických křemíkových vrstev.]
Thin Solid Films. Roč. 516, č. 16 (2008), s. 5368-5375. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
R&D Projects: GA AV ČR KAN301370701; GA MŠMT(CZ) 1M06002
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100520; CEZ:AV0Z10100522
Keywords : a-Si films * hardness * elastic modulus * compressive stress * Raman spectra
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.884, year: 2008
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0169948