Basket

0205619 - UPT-D 20030001 RIV CZ cze J - Journal Article
Matějka, František
Příprava víceúrovňových difraktivních optických elementů elektronovou litografií.
[Fabrication of Multilevel Diffractive Optical Elements using Electron Beam Lithography.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 48, č. 5 (2003), s. 138 - 141. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA AV ČR IBS2065014
Institutional research plan: CEZ:AV0Z2065902
Keywords : diffractive optical elements * multilevel phase DOE * electron lithography
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0101232