Basket

0022852 - ÚPT 2006 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Mika, Filip - Frank, Luděk
Kvantifikace hustoty rozložení dopantu v polovodiči s pomocí REM.
[Quantification of the dopant in semiconductor in SEM.]
Mikroskopie 2005. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2005, s. 41.
[Mikroskopie 2005. Nové Město na Moravě (CZ), 24.2.2005-25.2.2005]
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA102/05/2327
Keywords : dopant * semiconductor * se kontrast
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0111562