Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0552189 - FZÚ 2022 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
    Tvarog, Drahoslav - Olejníček, Jiří - Kratochvíl, Jiří - Kšírová, Petra - Poruba, A. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin
    Characterization of radical-enhanced atomic layer deposition process based on microwave surface wave generated plasma.
    Journal of Applied Physics. Roč. 130, č. 1 (2021), č. článku 013301. ISSN 0021-8979. E-ISSN 1089-7550
    Grant CEP: GA MŠk LM2018110; GA MŠk(CZ) EF16_019/0000760; GA TA ČR(CZ) TM01000039; GA TA ČR TF03000025
    Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: microwave surfatron * low-temperature plasma * ALD * TiO2 * plasma diagnostics
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Impakt faktor: 2.877, rok: 2021
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://doi.org/10.1063/5.0046829
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0327391
     
     
  2. 2.
    0537056 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Kapran, Anna - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
    Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém.
    [Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system.]
    Interní kód: FVMF1/FZU/2020 ; 2020
    Technické parametry: Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou.
    Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TM01000039
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: microwave surfatron * MinimalFab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314808
     
     
  3. 3.
    0486974 - FZÚ 2018 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Tvarog, Drahoslav - Pultar, M. - Šmíd, Jiří - Straňák, Vítězslav - Olejníček, Jiří - Poruba, Aleš - Vaněk, J. - Pečiva, L. - Lukašík, P. - Dolák, J.
    Surfatronový plazmový zdroj pro substráty o velikosti do 100 mm.
    [Surfatron plasma source for substrates up to 100 mm.]
    Interní kód: FV1/FZU/2017 ; 2017
    Technické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Ekonomické parametry: Vyvinutý plazmový zdroj umožní zkonstruovat a vyrobit unikátní PE-ALD depoziční systém. Náklady na výrobu celého zařízení nepřesáhly 50 000 Kč.
    Grant CEP: GA TA ČR TF03000025
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: Microwave surfatron * thin films * low-temperature plasma * ALD * deposition * plasma diagnostics
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0281681
     
     
  4. 4.
    0453099 - ÚCHP 2016 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Dytrych, Pavel - Klusoň, Petr - Šolcová, Olga - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk
    Shape Selective Photoinduced Electrochemical Behaviour of Thin ZnO Layers Prepared by Surfatron.
    Thin Solid Films. Roč. 597, DEC 31 (2015), s. 131-139. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
    Grant CEP: GA ČR GA15-14228S; GA TA ČR TA03010548
    Institucionální podpora: RVO:67985858 ; RVO:68378271
    Klíčová slova: zinc oxide * surfatron * plasma-enhaced chemical vapor deposition * electrochemistry
    Kód oboru RIV: CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství; BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech (FZU-D)
    Impakt faktor: 1.761, rok: 2015
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0254004
    Název souboruStaženoVelikostKomentářVerzePřístup
    0453099.pdf32.1 MBAutorský postprintpovolen
     
     
  5. 5.
    0449903 - FZÚ 2016 RIV cze P - Patentový dokument
    Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Kromka, Alexander
    Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů.
    [Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges.]
    2015. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 09.09.2015. Číslo patentu: 305482
    Grant CEP: GA MŠk LH12045; GA TA ČR TA03010743
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: plasma * discharge * surfatron * thin films
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0251346
     
     
  6. 6.
    0440056 - FZÚ 2015 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
    Davydova, Marina - Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Kromka, Alexander
    Deposition of carbon nanostructures by surfatron generated discharge.
    Acta Polytechnica. Roč. 54, č. 6 (2014), s. 389-393. ISSN 1210-2709. E-ISSN 1805-2363
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA ČR(CZ) GP14-06054P
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: carbon nanostructures * microwave plasma * PECVD * surfatron
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0243197
     
     
  7. 7.
    0430438 - FZÚ 2015 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Čada, Martin - Kment, Š. - Churpita, Olexandr - Kšírová, Petra - Brunclíková, Michaela - Adámek, Petr - Kohout, Michal - Valvoda, V. - Chvostová, Dagmar - Zlámal, M. - Hubička, Zdeněk
    ZnO thin films prepared by surfatron produced discharge.
    Catalysis Today. Roč. 230, Jul (2014), s. 119-124. ISSN 0920-5861. E-ISSN 1873-4308
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA MŠk LH12045; GA ČR GAP108/12/1941; GA ČR(CZ) GAP205/11/0386
    Grant ostatní: GACR(CZ) GP13-29241P
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: ZnO * surfatron * thin films * Langmuir probe * plasma density
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Impakt faktor: 3.893, rok: 2014
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0235375
     
     
  8. 8.
    0427270 - FZÚ 2015 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Kohout, Michal - Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Čada, Martin - Kment, Š. - Kšírová, Petra - Brunclíková, Michaela - Hubička, Zdeněk
    Tenké vrstvy ZnO připravené pomocí vícetryskového SWD plazmového systému.
    [ZnO thin films prepared by multi SWD plasma jet system.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 59, č. 2 (2014), s. 38-42. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA MŠk LH12045
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: ZnO * surfatron * thin films * Langmuir probe * plasma density
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0232854
     
     
  9. 9.
    0390401 - ÚVGZ 2013 RIV CZ eng K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
    Gavril, B. - Hnatiuc, E. - Hrušková, Iveta - Padureanu, S. - Haisan, C.
    Possibilities of performing treatments on seeds using cold plasma discharges.
    XIXth Symposium on Physics of Switching Arc. Brno: Brno University of Technology, 2011 - (Aubrecht, V.; Bartlová, M.), s. 189-192. ISBN 978-80-214-4293-1.
    [Symposium on Physics of Switching Arc /19./. Nové Město na Moravě (CZ), 05.09.2011-09.09.2011]
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z60870520
    Klíčová slova: surfatron plasma * GlidArc * germination * early growth
    Kód oboru RIV: EI - Biotechnologie a bionika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219267
     
     
  10. 10.
    0390208 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M. - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán
    Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály.
    [Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.]
    Interní kód: PST2/FZÚ-SVCS/2012 ; 2012
    Technické parametry: Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
    Ekonomické parametry: Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219084