Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0567523 - FZÚ 2023 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
    Mareš, P. - Dubau, M. - Polášek, J. - Mates, Tomáš - Kozák, T. - Vyskočil, J.
    High deposition rate films prepared by reactive HiPIMS.
    Vacuum. Roč. 191, Sep (2021), č. článku 110329. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
    Grant CEP: GA MŠMT LM2018110; GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA MPO FV30177
    Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760; AV ČR(CZ) StrategieAV21/6
    Program: StrategieAV
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: reactive magnetron sputtering * HiPIMS * Monte-carlo simulations * deposition rate * sputtering yield
    Obor OECD: Coating and films
    Impakt faktor: 4.110, rok: 2021
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110329
    Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0338777
     
     
  2. 2.
    0537050 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Hnilica, J. - Klein, P. - Vašina, P.
    Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů.
    [Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages.]
    Interní kód: FVNCK1/FZU/2020 ; 2020
    Technické parametry: Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
    Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Grant CEP: GA TA ČR TN01000038
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: sputtering * thin films * plasma * deposition * deposition rate * pulse package * ionization fraction
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314801
     
     
  3. 3.
    0524998 - FZÚ 2021 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Kohout, Michal - Perekrestov, Roman - Tvarog, D. - Kment, Štěpán - Kmentová, H. - Hubička, Zdeněk
    High rate deposition of photoactive TiO2 films by hot hollow cathode.
    Surface and Coatings Technology. Roč. 383, Feb (2020), s. 1-10, č. článku 125256. ISSN 0257-8972
    Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA MŠMT EF16_013/0001406; GA ČR GA17-20008S
    Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760; OP VVV - SAFMAT(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_013/0001406
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: TiO2 * hollow cathode discharge * sputtering * thermal evaporation * deposition rate
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Impakt faktor: 4.158, rok: 2020
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.125256
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0309201
     
     
  4. 4.
    0519372 - FZÚ 2020 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Hajihoseini, H. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Ünaldi, S. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D.
    The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge.
    Plasma. Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221. E-ISSN 2571-6182
    Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA ČR GA19-00579S
    Grant ostatní: OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: ionized physical vapor deposition * magnetron sputtering * high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) * ionized flux fraction * deposition rate
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Způsob publikování: Open access
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0304364
    Název souboruStaženoVelikostKomentářVerzePřístup
    0519372.pdf01.2 MBCC licenceVydavatelský postprintpovolen
     
     
  5. 5.
    0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
    [An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
    Interní kód: IONEU2013 ; 2013
    Technické parametry: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
    Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
    Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
    Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230613
     
     
  6. 6.
    0396132 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - Užitný vzor, průmyslový vzor
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
    Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
    [System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
    2013. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Datum udělení vzoru: 16.09.2013. Číslo vzoru: 25867
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12043
    Institucionální podpora: RVO:68378271
    Klíčová slova: ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0223966
     
     
  7. 7.
    0390204 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
    Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy.
    [Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes.]
    Interní kód: FS3/FZÚ/2012 ; 2012
    Technické parametry: Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
    Ekonomické parametry: V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
    Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219081
     
     
  8. 8.
    0355011 - ÚI 2011 RIV PL eng J - Článek v odborném periodiku
    Thomas, J. - Jílek, K. - Brabec, Marek
    Inversion of the Jacobi-Porstendörfer Room Model for the Radon Progeny.
    Nukleonika. Roč. 55, č. 4 (2010), s. 433-437. ISSN 0029-5922. E-ISSN 1508-5791
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10300504
    Klíčová slova: Jacobi room model * inversion and invariants of the model * unattached radon daughters * attachment rate * deposition rate
    Kód oboru RIV: BB - Aplikovaná statistika, operační výzkum
    Impakt faktor: 0.321, rok: 2010
    http://www.nukleonika.pl/www/back/full/vol55_2010/v55n4p433f.pdf
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0193874
     
     
  9. 9.
    0327235 - ÚCHP 2010 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Hussein, T. - Kubincová, L. - Ondráčková, Lucie - Hruška, A. - Dohányosová, Pavla - Hemerka, J. - Smolík, Jiří
    Deposition of Aerosol Particles on Rough Surfaces Inside a Test Chamber.
    [Depozice aerosolových částic na drsných površích uvnitř testovací komory.]
    Building and Environment. Roč. 44, č. 10 (2009), s. 2056-2063. ISSN 0360-1323. E-ISSN 1873-684X
    Grant CEP: GA ČR GA101/04/1190; GA ČR GA101/07/1361
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z40720504
    Klíčová slova: deposition rate * hydraulically smooth * surface roughness
    Kód oboru RIV: CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
    Impakt faktor: 1.797, rok: 2009
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0174097
     
     
  10. 10.
    0318562 - ÚCHP 2009 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
    Hussein, T. - Hruška, A. - Dohányosová, Pavla - Ondráčková, Lucie - Hemerka, J. - Kulmala, M. - Smolík, Jiří
    Deposition Rates on Smooth Surfaces and Coagulation of Aerosol Particles Inside a Test Chamber.
    [Depoziční rychlosti na hladkých površích a koagulace aerosolových částic v experimentální komoře.]
    Atmospheric Environment. Roč. 43, č. 4 (2009), s. 905-914. ISSN 1352-2310. E-ISSN 1873-2844
    Grant CEP: GA ČR GA101/04/1190; GA ČR GA101/07/1361
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z40720504
    Klíčová slova: deposition rate * turbophoresis * coagulation
    Kód oboru RIV: CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
    Impakt faktor: 3.139, rok: 2009
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0167942
     
     

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.