Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0536616 - ÚPT 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
    SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
    [SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM.]
    Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020. 8 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: relief structure: e-beam lithography * silicon etching * microlithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314396
     
  2. 2.
    0536030 - ÚPT 2021 CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Knápek, Alexandr
    SMV-2020-24: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
    [SMV-2020-24: Development of test specimens for SEM.]
    Brno: Delong Instruments, a.s., 2020. 7 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: relief structure: e-beam lithography * relief structure: silicon etching * silicon etching * microlithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0313879
     
  3. 3.
    0535442 - ÚPT 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2020-20: Reliéfní mikrostruktury na principu difraktivní optiky.
    [SMV-2020-20: Relief microstructures based on diffractive optics.]
    Brno: IQS Group s.r.o., 2020. 15 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0313460
     
  4. 4.
    0535438 - ÚPT 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2020-19: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky.
    [SMV-2020-19: Relief structures based on diffractive optics.]
    Brno: IQS nano s.r.o., 2020. 21 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0313459
     
  5. 5.
    0518135 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2019-75: Reliéfní mikrostruktury na principu difraktivní optiky.
    [SMV-2019-75: Relief microstructures based on diffractive optics.]
    Brno: IQS nano s.r.o., 2019. 6 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303311
     
  6. 6.
    0518131 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Knápek, Alexandr
    SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
    [SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM.]
    Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2019. 4 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: calibration specimen * relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303306
     
  7. 7.
    0518127 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2019-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky.
    [SMV-2019-01: Relief structures based on diffractive optics.]
    Brno: IQS nano s.r.o., 2019. 16 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303304
     
  8. 8.
    0518122 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2019-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu.
    [SMV-2019-02: Analysis of planar microstructures prepared by compound writing method.]
    Brno: IQS nano s.r.o., 2019. 5 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303303
     
  9. 9.
    0517217 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2019-05: Fázové mřížky.
    [SMV-2019-05: Phase grids.]
    Brno: Ústav termomechaniky AV ČR, 2019. 5 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: e-beam lithography * diffractive grating * reactive ion etching
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302499
     
  10. 10.
    0517212 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
    Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
    SMV-2019-04: Velkoplošné nanášení nanostruktur.
    [SMV-2019-04: Large-area nanostructures preparing.]
    Brno: Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT, 2019. 5 s.
    Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
    Klíčová slova: e-beam lithography * nanostructures * wet etching * vacuum evaporation * reactive ion etching
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302498