Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0336589 - ÚPT 2010 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
    Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Horáček, Miroslav - Lencová, Bohumila - Matějka, Milan - Král, Stanislav - Urbánek, Michal - Mikšík, P. - Vašina, J. - Horák, R.
    Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm.
    [E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm.]
    Interní kód: 162 410 ; 2009
    Technické parametry: Proudová hustota ve svazku (min – střed - max): 1,8 – 3,6 – 14,4 A/cm2. Otočení souřadnic tvarování, vychylování a posuvu substrátu: -45 stupňů.
    Ekonomické parametry: Desetkrát vyšší proudová hustota umožňuje zvýšit základní expoziční dobu až desetkrát, což má přímý vliv na produktivitu. Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožňuje realizovat struktury dříve nerealizovatelné.
    Grant CEP: GA MPO FR-TI1/576
    Klíčová slova: electron beam lithography * shaped electron beam
    Kód oboru RIV: JP - Průmyslové procesy a zpracování
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180792
     


  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.