Výsledky vyhledávání

  1. 1.
    0390982 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Matějka, Milan - Urbánek, M. - Kolařík, V. - Horáček, M. - Krátký, Stanislav - Mikšík, P. - Vašina, J.
    Variable-shape E-beam litography: Proximity effect simulation of 3D micro and nano sructures.
    NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 729-732. ISBN 978-80-87294-32-1.
    [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]
    Grant CEP: GA MPO FR-TI1/576; GA MŠk ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: 3D resist structures * variable shape electron beam lithography * proximity effect simulation and correction * polymer resist * development process simulation
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219947
     
     
  2. 2.
    0390977 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Urbánek, Michal - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Matějka, František - Bok, Jan - Mikšík, P. - Vašina, J.
    Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction.
    NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 717-722. ISBN 978-80-87294-32-1.
    [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]
    Grant CEP: GA MPO FR-TI1/576; GA MŠk ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: e-beam writer * shaped beam * proximity effect correction
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219844
     
     
  3. 3.
    0386400 - ÚPT 2013 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Urbánek, Michal - Král, Stanislav - Krátký, Stanislav - Mikšík, P. - Vašina, J.
    Proximity effect simulation for variable shape e-beam writer.
    Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 75-76. ISBN 978-80-87441-07-7.
    [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]
    Grant CEP: GA MŠk ED0017/01/01; GA MPO FR-TI1/576
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: electron scattering effects * e-beam writer * computer simulation
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0215699
     
     


  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.