Výsledky vyhledávání
- 1.0499948 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Straňák, Vítězslav - Adámek, Petr - Tvarog, Drahoslav
Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy.
[Reactive HiPIMS deposition system optimised for optical thin films.]
Interní kód: FVG1/FZU/2018 ; 2018
Technické parametry: Mezní tlak plazmového reaktoru: 5 10-8 mbar, maximální střední výkon na jeden magnetron: 1000 W, rozměry terčů magnetronů: 50 mm, maximální výkon do ICP elektrody: 400 W, maximální DC magnetické pole
Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Grant CEP: GA MPO FV20580
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: sputtering * thin films * plasma * deposition * hollow cathode
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0292132 - 2.0436748 - FZÚ 2015 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr
Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev.
[Multifunctional substrate holder for plasma depositions of optical thin films.]
Interní kód: MFSH2014 ; 2014
Technické parametry: Rotační rychlost: 0-200 RPM; vakuová těsnost: 1x10-10 mbar l s-1; maximální dosažená teplota: 400 °C; maximální příkon vytápění: 180 W; maximální amplituda RF předpětí při frekvenci 13.56 MHz: 1000 V
Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: sputtering * thin films * plasma * deposition * magnetron * reactive sputtering
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0240432 - 3.0434023 - FZÚ 2015 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán
Měřící systém V-A charakteristik solárních článků.
[Solar Cell I-V Curve Measurement System.]
Interní kód: Vam-XIV/A/DFU2014 ; 2014
Technické parametry: Vyvinutý adaptér Vam-XIV/A/DFU2014 ve spojení s řídící jednotkou DSPC umožňuje měření voltampérové charakteristiky fotovoltaických (PV) článků a polovodičových přechodů s vysokým rozlišením proudu.
Ekonomické parametry: Vyvinutý měřící adaptér významně automatizuje a zkracuje dobu měření jednotlivých testovaných vzorků. Náklady na výrobu celého adaptéru nepřesáhly částku 10 000 Kč.
Grant CEP: GA MŠMT LH12045
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: solar cell diagnostics * plasma * measuring system * thin film deposition processes
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0238166 - 4.0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Interní kód: IONEU2013 ; 2013
Technické parametry: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230613 - 5.0424548 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Olejníček, Jiří - Jastrabík, Lubomír
Měřicí systém pro mikrovlnnou diagnostiku plazmatu.
[Measuring system for microwave diagnostic of the plasma.]
Interní kód: TRMW2013 ; 2013
Technické parametry: Vyvinutá řídící jednotka umožňuje časově rozlišená měření a s opakovaným měřením výrazně potlačuje šum, rychlost a rozsah měření je dána především komerčním generátorem do 20 GHz a mikrovlnnými detektory
Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: microwave diagnostics * plasma * measuring system * plasma processes
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230611 - 6.0424537 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A.
Měřicí systém pro časově rozlišenou sondovou diagnostiku plazmatu.
[Acquisition system for time-resolved the Langmuir probe diagnostics of discharges.]
Interní kód: TRSAP/FZÚ-SVCS/2012 ; 2013
Technické parametry: Rychlosti měření větší než 3 MSPS, rozsah kmitočtů a různá délka budících impulsů výboje (plazmatu), od jednotek Hz do jednotek MHz, časové rozlišení od deseti ns do stovek ms.
Ekonomické parametry: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli elektronický měřicí systém pro časově rozlišenou sondovou diagnostiku plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: Langmuir probe * pulse * time resolved
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230608 - 7.0424535 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Lukašík, P. - Olejníček, Jiří - Piják, A.
Programovatelný Dip-Coater pro depozici tenkých vrstev v roztocích.
[Programmable Dip-Coater for deposition of thin films in chemical solutions.]
Interní kód: PDIPCO/FZÚ/2013 ; 2013
Technické parametry: Rychlost pohybu držáku nastavitelná: 0,00003 mm/s-1 ÷ 10 mm/s-1. Krok nastavení rychlosti držáku:0,00003 mm/s-1. Nastavitelná doba setrvání vzorku při ponoření: 0 s ÷ 32767 s.
Ekonomické parametry: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli programovatelné zařízení pro depozici tenkých vrstev z roztoků ("Dip-Coater"). Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum.
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: dip coaterTA01011740 * thin film * automatické řízení
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230599 - 8.0424534 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
[Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
Interní kód: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
Technické parametry: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Ekonomické parametry: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: pohyb substrátu * PC řízený
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230598