Výsledky vyhledávání
- 1.0575662 - ÚPT 2024 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
Krátký, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Fořt, Tomáš - Mikel, Břetislav - Helán, R. - Urban, F.
Technologie výroby nelineárních fázových masek.
[The manufacturing process of apodized phase masks.]
Interní kód: APL-2023-03 ; 2023
Technické parametry: Technologie pro výrobu nelineárních fázových masek pro vlnovou délku dopadajícího světla 248 nm pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Přesnost zápisu periody mřížky je 0,1 nm, přesnost naladění hloubky mřížky je ±5 nm.
Ekonomické parametry: Ověřená technologie realizovaná při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) FW01010379
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: apodized phase mask * e-beam lithography * reactive ion etching
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0345419 - 2.0470129 - ÚPT 2017 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
Dvořáček, F. - Dvořáčková, Š. - Buchta, Zdeněk - Čížek, Martin - Šarbort, Martin - Řeřucha, Šimon - Hucl, Václav - Pikálek, Tomáš - Mikel, Břetislav - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Kalibrace koncových měrek bezkontaktní metodou.
[System for contactless mass calibration of gauge blocks.]
Interní kód: APL-2016-15 ; 2016
Technické parametry: Poloprovoz využívá bezkontaktní metodu měření délky měrky dle patentu ČR 302948 a dále zapojení nezbytných zařízení a přístrojů do měřicího procesu včetně požadavku na přípravu koncové měrky k vlastnímu měření.
Ekonomické parametry: Je uzavřená Smlouva o využití výsledku výzkumu a vývoje pro projekt TA03010663 a poloprovoz bude probíhat v rámci kalibrační laboratoře Českého metrologického institutu (IČ 00177016) (viz Osvědčení o akreditaci), kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TA03010663; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: Gauge block * double ended interferometer * mass calibration * length metrology
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0267856