Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Název projektu
GA15-00863S
Poskytovatel
GA ČR
Doba řešení
2015 - 2017
Příjemce projektu
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
(Spolu)řešitel projektu
Čada
Katal.org.
CAV
Odkazy
(2) - Abstrakt
(9) - Článek v odborném časopise
Soubor
Projekty
7.
Projekt
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
Název projektu
TF03000025
Poskytovatel
GA TA ČR
Doba řešení
2016 - 2019
Příjemce projektu
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
(Spolu)řešitel projektu
Čada
Katal.org.
CAV
Odkazy
(1) - Článek v odborném časopise
(1) - Prototyp, funkční vzorek
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
Soubor
Projekty
8.
Projekt
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
Název projektu
LD12002
Poskytovatel
GA MŠk
Doba řešení
2012 - 2013
Příjemce projektu
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
(Spolu)řešitel projektu
Čada
Katal.org.
CAV
Odkazy
(5) - Článek v odborném časopise
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
Soubor
Projekty
9.
Projekt
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu.
Novou verzi záznamu vytvořte pouze v případě, že budete měnit uložené soubory, neboť bude mít přiděleno nové DOI. Pokud nebudete měnit soubory, ale pouze metadatový popis, editujte současnou verzi záznamu.
openseadragon
Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom
jak používáme cookies.