Vytisknout
0336643 - ÚPT 2010 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Klein, Pavel
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony.
[Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons.]
Interní kód: 5511-2 ; 2009
Technické parametry: Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Ekonomické parametry: Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: UHV specimen stage * surface analysis
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180832
Klein, Pavel
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony.
[Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons.]
Interní kód: 5511-2 ; 2009
Technické parametry: Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Ekonomické parametry: Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: UHV specimen stage * surface analysis
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180832