Košík

0536616 - ÚPT 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM.]
Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020. 8 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: relief structure: e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314396