Košík

0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
Annulární clona pro SEM.
[Annular aperture for SEM.]
Interní kód: APL-2020-08 ; 2020
Technické parametry: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
Obor OECD: Electrical and electronic engineering
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314349