Košík

  1. 1.
    0525191 - ÚPT 2021 RIV SK eng J - Článek v odborném periodiku
    Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Řiháček, Tomáš - Knápek, Alexandr - Kolařík, Vladimír
    Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes.
    Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. Roč. 71, č. 2 (2020), s. 127-130. ISSN 1335-3632. E-ISSN 1339-309X
    Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008; GA MŠMT ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: membrane * nano optical device * electron optics * electron beam lithography * silicon nitride * reactive ion etching * silicon etching * microfabrication
    Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
    Impakt faktor: 0.647, rok: 2020
    Způsob publikování: Open access
    https://content.sciendo.com/view/journals/jee/71/2/article-p127.xml
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0309382
     
     

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.