Košík

0518122 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu.
[SMV-2019-02: Analysis of planar microstructures prepared by compound writing method.]
Brno: IQS nano s.r.o., 2019. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303303