Košík

0517212 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-04: Velkoplošné nanášení nanostruktur.
[SMV-2019-04: Large-area nanostructures preparing.]
Brno: Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT, 2019. 5 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: e-beam lithography * nanostructures * wet etching * vacuum evaporation * reactive ion etching
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302498