Košík

0504377 - ÚFM 2020 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Tinoco Navaro, Hector Andres - Holzer, Jakub - Pikálek, Tomáš - Buchta, Zdeněk - Lazar, Josef - Chlupová, Alice - Kruml, Tomáš - Hutař, Pavel … celkem 9 autorů
Determination of elastic parameters of Si3N4thin films by means of anumerical approach and bulge tests.
Thin Solid Films. Roč. 672, FEB (2019), s. 66-74. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) EF16_013/0001823; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081723 ; RVO:68081731
Klíčová slova: Elastic properties * Bulge test * Thin film * Finite element analysis * Silicon nitride
Obor OECD: Ceramics; Electrical and electronic engineering (UPT-D)
Impakt faktor: 2.030, rok: 2019
Způsob publikování: Omezený přístup
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609018308484?via%3Dihub
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0300846