Košík

0500945 - FZÚ 2021 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Tvarog, Drahoslav
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů.
[Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films.]
Praha: IQ structures, 2018. 11 s.
Grant CEP: GA MPO FV20580
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: plasma * discharge * thin film * HiPIMS
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0293030