Košík

  1. 1.
    0499698 - ÚPT 2019 CZ eng A - Abstrakt
    Lazar, Josef
    Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography.
    Sborník příspěvků multioborové konference LASER58. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2018 - (Růžička, B.). s. 39. ISBN 978-80-87441-24-4.
    [LASER58. 17.10.2018-19.10.2018, Třešť]
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: metrology * interferometry * laser * lithography
    Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0291919
     
     

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.