Košík

  1. 1.
    0494371 - ÚPT 2019 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Průcha, Lukáš - Daniel, Benjamin - Piňos, Jakub - Mikmeková, Eliška
    Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition.
    Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar. Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, s. 60-61. ISBN 978-80-87441-23-7.
    [Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Skalský dvůr (CZ), 04.06.2018-08.06.2018]
    Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TE01020118; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: thermal desorption spectroscopy * CVD * surface cleaning * silicon
    Obor OECD: Electrical and electronic engineering
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0287627
     
     

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.