Košík

0396132 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - Užitný vzor, průmyslový vzor
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
[System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
2013. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Datum udělení vzoru: 16.09.2013. Číslo vzoru: 25867
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12043
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0223966