Košík

0308202 - ÚPT 2008 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Mika, Filip - Frank, Luděk
Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM.
[Tvorba dvourozměrných profilů dopantu s níkoenergiovým SEM.]
Journal of Microscopy. Roč. 230, č. 1 (2008), s. 76-83. ISSN 0022-2720. E-ISSN 1365-2818
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2327
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: dopant contrast * low energy SEM * semiconductors
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Impakt faktor: 1.409, rok: 2008
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0160756