Počet záznamů: 1
Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.
- 1.
SYSNO 0512149 Název Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer. Tvůrce(i) Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Drozd, Michal (UPT-D)
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019 Konference The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman Druh dok. Abstrakt Grant FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. eng Země vyd. JO Klíč.slova dielectric surface inspection * resist coated wafer Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0302361
Počet záznamů: 1