Počet záznamů: 1  

Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.

  1. 1.
    SYSNO0512149
    NázevAutomated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.
    Tvůrce(i) Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Drozd, Michal (UPT-D)
    Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
    Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Zdroj.dok. Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019
    Konference The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman
    Druh dok.Abstrakt
    Grant FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.JO
    Klíč.slova dielectric surface inspection * resist coated wafer
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0302361
     
Počet záznamů: 1