Počet záznamů: 1

Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.

SYSNO	0512149
Název	Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.
Tvůrce(i)	Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Drozd, Michal (UPT-D) Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019
Konference	The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman
Druh dok.	Abstrakt
Grant	FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	JO
Klíč.slova	dielectric surface inspection * resist coated wafer
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0302361

Počet záznamů: 1