Počet záznamů: 1

Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers

SYSNO	0511777
Název	Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers
Tvůrce(i)	Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Drozd, Michal (UPT-D) Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	11th International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications, IMA-2019. Book of abstracts. S. 162. - - : -, 2019
Konference	International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications /11./, 22.09.2019 - 25.09.2019, Ioannina
Druh dok.	Abstrakt
Grant	FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Klíč.slova	dielectric surface inspection * resist coated wafer
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0302052

Počet záznamů: 1