Počet záznamů: 1

Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

SYSNO	0476548
Název	Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu
Překlad názvu	A method of measuring deposition low pressure plasma using wave resonance of electron cyclotron waves and a device for performing this method
Tvůrce(i)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Adámek, Jan (FZU-D) Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2017
Vlastník	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Datum udělení patentu	31.05.2017
Číslo patentového spisu	306799
Kategorie patentu	E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR)
Kód vydavatele patentu	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Druh dok.	Patentový dokument
Grant	TA03010743 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	cze
Klíč.slova	plasma deposition * electrone-cyclotrone wave * acoustic emission
URL	https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10195504&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0273025

Počet záznamů: 1