Počet záznamů: 1  

Praktická elektronová litografie

  1. 1.
    SYSNO0423948
    NázevPraktická elektronová litografie
    Překlad názvuPractical E-Beam Lithography
    Tvůrce(i) Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
    Vyd. údajeBrno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013
    ISBN978-80-87441-04-6
    Druh dok.Monografie, kniha (jako celek)
    Grant ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    Jazyk dok.cze
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova e-beam lithography * e-beam resist * e-beam exposure
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0229992
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.