Počet záznamů: 1
Praktická elektronová litografie
- 1.
SYSNO 0423948 Název Praktická elektronová litografie Překlad názvu Practical E-Beam Lithography Tvůrce(i) Matějka, František (UPT-D) RID, SAI Vyd. údaje Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013 ISBN 978-80-87441-04-6 Druh dok. Monografie, kniha (jako celek) Grant ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova e-beam lithography * e-beam resist * e-beam exposure Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0229992
Počet záznamů: 1