Počet záznamů: 1

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

SYSNO	0390204
Název	Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
Překlad názvu	Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes
Tvůrce(i)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kšírová, Petra (FZU-D)_{RID, ORCID} Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2012
Poddruh	Funkční vzorek
Int.kód	FS3/FZÚ/2012
Technické parametry	Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
Ekonomické parametry	V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Číselná identifikace	Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
Druh dok.	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0219081

Počet záznamů: 1