Počet záznamů: 1
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
- 1.
SYSNO 0371302 Název Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01 Překlad názvu Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01 Tvůrce(i) Šmíd, Jiří (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Lukašík, P. (CZ)
Piják, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)
Martinek, P. (CZ)
Pitrun, J. (CZ)
Rek, Š. (CZ)
Konečný, L. (CZ)
Mareš, G. (CZ)
Štepánek, J. (CZ)
Jakeš, J. (CZ)
Křenek, Z. (CZ)
Joštic, M. (CZ)Vyd. údaje 2011 Poddruh Funkční vzorek Int.kód PST1/FZÚ-SVCS/2011 Technické parametry Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH Ekonomické parametry Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Název vlastníka 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o. Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0204848
Počet záznamů: 1