Počet záznamů: 1

AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors

SYSNO	0367516
Název	AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
Tvůrce(i)	Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Klapetek, P. (CZ) Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082). 80823U:1-6. - Bellingham : SPIE, 2011
Konference	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII, Munich, 23.05.2011-26.05.2011
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	atomic force microscopy (AFM) * nanometrology * nanoscale * nanopositioning * interferometry * abbe errors
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0202169

Počet záznamů: 1